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微納加工三個(gè)主流技術(shù)
點(diǎn)擊量:1610 日期:2022-04-01 編輯:硅時(shí)代
隨著MEMS加工設(shè)備的協(xié)同發(fā)展,目前復(fù)合微機(jī)械加工技術(shù)、LIGA加工技術(shù)和激光微機(jī)械加工技術(shù)可以說(shuō)是MEMS加工的三個(gè)主流技術(shù)。