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分子束外延的技術難點
2023-10-09

分子束外延是50年代用真空蒸發(fā)技術制備半導體薄膜材料發(fā)展而來的。隨著超高真空技術的發(fā)展而日趨完善，由于分子束外延技術的發(fā)展開拓了一系列嶄新的超...
離子注入的阻滯機制
2023-10-07

當離子轟擊進入硅襯底后，與晶格原子碰撞將逐漸失去能量，最后停留在硅襯底內。有兩種阻滯機制，一種是注入的離子與晶格原子的原子核發(fā)生碰撞，經(jīng)過這...
MEMS開關
2023-09-26

MEMS器件在射頻比如無線通信上有很好的應用。RF MEMS諧振器和誘導器品質因子在微波上有大幅度提高。MEMS開關極大地改進了高頻性能和降低...
可控硅壓力傳感器
2023-09-25

壓力傳感器是觸覺傳感的核心部件，是一種精度高、靈敏強的傳感器件，在機器人、鋼鐵化工、智慧城市等領域都有廣泛的應用。目前市場上的壓力傳感器可大...
激光加工技術的特點
2023-09-21

激光加工技術是利用激光束與物質相互作用的特性，對材料（包括金屬與非金屬）進行切割、焊接、表面處理、打孔及微加工等的一門加工技術。激光加工技術...
柔性微納加工技術的新方向
2023-09-21

國際上，柔性微納制造技術主要包括納米壓印技術和3D、4D打印技術。上世紀90年代提出的納米壓印技術利用光刻膠輔助將模板上的微納結構通過刻蝕傳遞工...

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